MAPPER Litography
Omschrijving
Op 27 juni 2013 organiseert de Afdeling Technische Fysica van het Koninklijk Instituut van Ingenieurs een bezoek aan MAPPER Lithography.
MAPPER Lithography, gevestigd in Delft, ontwikkelt de volgende generatie lithografiemachines voor de halfgeleiderindustrie (chipindustrie). De kern van deze machine is gebaseerd op een innovatief en gepatenteerd systeem. Het systeem maakt gebruik van glasvezels, dat het mogelijk maakt meer dan tienduizend schakelbare parallelle elektronenbundels afzonderlijk aan te sturen en te schrijven op een elektrongevoelige laag. Hierbij worden enorme hoeveelheden data verwerkt.
MAPPER Lithography is opgericht in 2000 als een spin-off van de TU Delft. Sindsdien werkt MAPPER aan het ontwikkelen van de 'parallel electron beam writing technology’. Vandaag bestaat MAPPER uit ongeveer 160 man.
Traditioneel wordt in de semiconductor industrie gebruikt gemaakt van een lithografische machine gebaseerd op een principe waarbij een masker met daarop een patroon belicht wordt op een silicium wafer. MAPPER’s lithography machine maakt geen gebruikt van maskers. Hiermee wordt een kostenvoordeel gecreëerd. Tevens geeft dit een grote mate van flexibilitieit in het ontwikkelen van specifieke chips voor nieuwe toepassingen.
Bij dit bezoek zal de focus liggen op de Fysica. Wilt u meer over MAPPER lezen dan is de website: www.mapperlithography.com en een filmpje over de technologie die MAPPER aan het ontwikkelen is op: www.mappertechnology.com/technology/mapper-technology
Deelnemers worden verzocht om uiterlijk 14.15 uur aanwezig te zijn.
Na afloop is er nog gelegenheid om na te praten onder het genot van een drankje.
Locatie
Computerlaan 15, 2628 XK Delft
Organisator
Technische Fysica
Naam en contactgegevens voor informatie
Coen Groen